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分析原理：X射线光电子能谱ξ　技术（X-ray photoelectron spectroscopy，简称XPS）是一种表面分析方法， 使用X射线↑去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来∮，被光子激发出来的电子称为卐光电子，可以测量光电子的能量和数量▃，从而获得待测物组成。XPS主要应用是测定电子的╱结合能来鉴定样品表面的化学性质及组成的分析，其特点在光电子来自表面10nm以内，仅带出∏表面的化学信息，具有分Ψ析区域小、分析深度浅和不破坏样品的特↘点，广泛应用于金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层材料矿石等各种材料的研究，以及腐蚀、摩擦、润滑、粘接、催化、包覆、氧化等过程的研究。

XPS的原理是用X射线去辐◆射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量，以光电子的动能/束缚能 binding energy,(Eb=hv光能量-Ek动能-W功函数)为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图。可以测样品表面的元素成分、化学态和分子结构。